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其他微電子行業淨化解決方案

 

少量未處理的微粒或者氣體分子可能嚴重影響一些工藝流程。請想象一下汙染的空氣對半導體、制藥和其它高度敏感的制造工藝流程可能産生什麽樣的危害。

 

先進的生産方法通常要求非常潔淨的空氣環境,很多情況下,空氣要求還可能更加嚴格。例如,電子行業要求非常幹淨的制造環境,以便生産大規模集成電路。由于電路板寬度可能只有1微米或者更少,這就要求將三維微粒汙染控制在0.1微米以內。

 

潔淨室的重点就是过滤设备,但根据不同的潔淨室类型,需要考虑使用不同的空氣过滤设备。

 

憑借15年以上的微電子和半導體汙染控制技術行業經驗以及對“國際半導體科技進程”的參與,我公司完全能夠提供好的解決方案,實現先進的微粒和AMC控制。

 

我公司在已通过ISO9000认证并严格控制生产环境的工厂内专门生产HEPA/ULPA过滤器。我们在全球多个生产基地同时生产同一类型的空氣過濾器和風淋室。大規模的生産能力確保我們的産品能夠隨時滿足世界各地的需求。

 

汙染物

來源

引發問題

解決方案

粉尘、 微细盐粒子

空氣

造成微電子脫落或者影響精度

潔淨室HVAC系统的新风机组加化学过滤功能段,在FFU加化学滤网

 

 部分成交客戶:

 
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